ZENIX
AGV

AGV是将货物通过各种方式自动移送·装载的无人电气车辆
ZENIXAGV的主要特点是主要系统的自行研发。不仅将AGV Control system及流通量管理System software
自行研发并适用, 还主动研发出最优化的Driving/steering Control发动机控制Control board,并使其适用于AGV。
不仅如此,我们还不断推行主要部件及Software的国产化/主动开发化,而不依赖外国货。

CLEAN AGV
· 其使用目的在于半导体、LCD、OLED、医药Vial生产Line上实现自动搬运·装载。
· ·搬运物:200mm CST、300mm Foup、CF / TFT MASK & Case、CF / TFT Glass、
                Crate Glass、Vial
LCD/OLED Bare Mask AGV
Loading/Unloading 多关节机器人
Align精密度 1mm
Load重量 200kg ( User Order )
速度 1m/s ( User Order )
搬运物 LCD/OLED MASK Cassette
主要使用处 LCD/OLED生产Line ( Class 1 )
LCD/OLED Cassette AGV
Loading/Unloading Clean Conveyor
Align精密度 ±10mm
Load重量 100kg ( User Order )
速度 1m/s ( User Order )
搬运物 LCD/OLED Glass Cassette
主要使用处 LCD/OLED生产Line ( Class 100 )
LCD/OLED CF Mask AGV
Loading/Unloading 多级滑动机器人
Align精密度 1mm
Load重量 180kg ( User Order )
速度 0.8m/s ( User Order )
搬运物 LCD CF Mask case及Clean Room内自动搬运物
主要使用处 LCD/OLED Mask Line
LCD/OLED Crate AGV
Loading/Unloading Clean Conveyor
Align精密度 ±10mm
Load重量 3,000kg ( User Order )
速度 1.3m/s ( User Order )
搬运物 Crate Glass及Clean Room内Pallet
主要使用处 LCD/OLED Glass制造工厂
LCD/OLED生产Line
LCD/OLED TFT Mask AGV
Loading/Unloading Vision Align Stage
Align精密度 1mm
Load重量 60kg ( User Order )
速度 0.8m/s ( User Order )
搬运物 LCD TFT Mask case及Clean Room内自动搬运物
主要使用处 LCD/OLED Mask Line
半导体AGV
Loading/Unloading 6轴Robot
Align精密度 ±1mm
Load重量 10kg ( User Order )
速度 1m/s ( User Order )
搬运物 200mm Cassette, 300mm Foup
主要使用处 200mm、300mm半导体Wafer生产Line
( Class 100 )
医药Vial AGV
Loading/Unloading 多级滑动机器人
Align精密度 1mm
Load重量 60kg ( User Order )
速度 1.3m/s ( User Order )
搬运物 搬运医药Vial
主要使用处 Vial制造工厂