ZENIX
LCD/OLED物流

我们供应LCD/OLED生产Line Glass Cassette、Mask物流自动化装备Rackmaster、OHS/OHCV、 Stocker、
AGV。
我们不仅自行研发并适用灵活地控制全体系统流通量管理的software,还通过搬运流量Simulation、
Stocker内气流Simulation、Rackmater Robot的动态应力分析,提升人们对制品的信任度。

OHS/OHCV
这是与Rack Master连接,将Glass Cassette搬运到工艺装备&
其他Rack Master的固定型行驶RAIL方式。
OHS/OHCV
Loading/Unloading ROBOT & Stage Align
Align精密度 1mm
Load重量 1,500kg ( User Order )
速度 3m/s ( User Order )
搬运物 LCD/OLED Cassette
POWER Contactless Power Supply
Clean Class Class10@0.1㎛
主要使用处 LCD/OLED生产Line