ZENIX
LCD/OLED物流

我们供应LCD/OLED生产Line Glass Cassette、Mask物流自动化装备Rackmaster、OHS/OHCV、 Stocker、
AGV。
我们不仅自行研发并适用灵活地控制全体系统流通量管理的software,还通过搬运流量Simulation、
Stocker内气流Simulation、Rackmater Robot的动态应力分析,提升人们对制品的信任度。

工艺物流
这是用于搬运Mask的In-Line System,
包括Mask Unpacking、Packing、De-Mounter、Rotator & Flipper。
Mask Rotater & Flipper
将Mask的方向转为横/纵/前面/后面时所用的装备
搬运物 LCD/OLED Mask
Align精密度 0.2 mm
Load 5.5G, 6G, 8G Mask
Load重量 60kg
Loading/Unloading 15 Axis Robot & Turn Lifter
主要使用处 LCD/OLED生产Line
Mask Unpacking
将Mask Case自动open并抽出Mask后,使其供应给Line的装备
搬运物 LCD/OLED Mask
Align精密度 0.2 mm
Load 5.5G, 6G, 8G Mask/Mask Case
Load重量 Mask 60Kg, Case 90Kg
Loading/Unloading 19 Axis Robot & Turn Lifter
主要使用处 LCD/OLED生产Line
Mask Packing
将完成的Mask自动放入在Case内的装备
搬运物 LCD/OLED Mask
Align精密度 0.2 mm
Load 5.5G, 6G, 8G Mask/Mask Case
Load重量 Mask 60Kg, Case 90Kg
Loading/Unloading 19 Axis Robot & Turn Lifter
主要使用处 LCD/OLED生产Line
Mask De-mounter
去除贴在Mask上的Pellicle的装备
搬运物 LCD/OLED Mask
Align精密度 0.2 mm
Load 5.5G, 6G, 8G Mask
Load重量 60Kg
Loading/Unloading 15 Axis Robot & Turn Lifter
主要使用处 LCD/OLED生产Line