ZENIX
半导体物流

我们供应200mm Cassette、300mm Foup物流自动化装备的Stocker、OHS/OHT、Rail system, AGV。
我们不仅自行研发并适用灵活地控制全体系统流通量管理的softwa,还通过搬运流量Simulation、Stocker内气流Simulation,
提升人们对制品的信任度。

Stocker
半导体FAB工艺内管理Foup的库存、控制流量,
并使其搬入/搬出/保存的System
半导体用Foup Stocker
搬运物 300mm Wafer Foup
Align精密度 1mm
Load重量 10kg
Crane Driving速度 1.5m/s ( User Order )
Lift速度 1m/s ( User Order )
主要使用处 300mm半导体生产Line ( Class 100 )