ZENIX
半导体物流

我们供应200mm Cassette、300mm Foup物流自动化装备的Stocker、OHS/OHT、Rail system, AGV。
我们不仅自行研发并适用灵活地控制全体系统流通量管理的softwa,还通过搬运流量Simulation、Stocker内气流Simulation,
提升人们对制品的信任度。

OHS/OHT
与Stocker连接,
将Foup搬运到工艺装备&其他Stocker的固定型行驶RAIL方式
OHS/OHT
搬运物 300mm Wafer Foup
Align精密度 1mm
Load重量 10kg
Straight速度 3m/s ( User Order )
Curve速度 1m/s ( User Order )
Hoist速度 11sec
Power Contactless Power Supply
主要使用处 300mm半导体生产Line ( Class 100 )