ZENIX
半导体物流

我们供应200mm Cassette、300mm Foup物流自动化装备的Stocker、OHS/OHT、Rail system, AGV。
我们不仅自行研发并适用灵活地控制全体系统流通量管理的softwa,还通过搬运流量Simulation、Stocker内气流Simulation,
提升人们对制品的信任度。

Rail system
用于OHT/OHS天花板搬运的移动路径system
Rail system
使用对象 Rail行驶型Vehicle ( OHT/OHS )
结构 AL Rail, Contactless Power Cable
Type Straight, Curve, Branch, Double Branch
主要使用处 300mm半导体生产Line ( Class 100 )
需要天花板搬运的生产Line