반도체 물류

반도체 물류
200mm Cassette, 300mm Foup 물류 자동화 장비인 Stocker, OHS/OHT, Rail system, AGV를 납품하고 있습니다. 전체 System 물동량 관리를 유동적으로 제어하는 Software를 자체 개발 적용하고 있으며, 반송물동량 Simulation, Stocker내 기류 Simulation을 통해 제품에 대한 신뢰성을 쌓아가고 있습니다.

Stocker

반도체 FAB 공정내 Foup의 재고관리, 물동량을 제어 하며, 반입/반출/저장을 목적으로 하는 System

반도체용 Foup Stocker
반도체용 Foup Stocker
  • 운반물 : 300mm Wafer Foup
  • Align 정밀도 : 1mm
  • Load 중량 : 10kg
  • Crane Driving 속도 : 1.5m/s (User Order)
  • Lift 속도 : 1m/s (User Order)
  • 주요 사용처 : 300mm 반도체 생산 Line (Class 100)