반도체 물류

반도체 물류
200mm Cassette, 300mm Foup 물류 자동화 장비인 Stocker, OHS/OHT, Rail system, AGV를 납품하고 있습니다. 전체 System 물동량 관리를 유동적으로 제어하는 Software를 자체 개발 적용하고 있으며, 반송물동량 Simulation, Stocker내 기류 Simulation을 통해 제품에 대한 신뢰성을 쌓아가고 있습니다.

OHS/OHT

Stocker와 연계해서 공정장비 & 타Stocker로 Foup를 반송하며, 고정형 주행 RAIL 방식

OHS/OHT
OHS/OHT
  • 운반물 : 300mm Wafer Foup
  • Align 정밀도 : 1mm
  • Load 중량 : 10kg
  • Straight 속도 : 3m/s (User Order)
  • Curve 속도 : 1m/s (User Order)
  • Hoist 속도 : 11sec
  • Power : Contactless Power Supply
  • 주요 사용처 : 300mm 반도체 생산 Line (Class 100)