반도체 물류

반도체 물류
200mm Cassette, 300mm Foup 물류 자동화 장비인 Stocker, OHS/OHT, Rail system, AGV를 납품하고 있습니다. 전체 System 물동량 관리를 유동적으로 제어하는 Software를 자체 개발 적용하고 있으며, 반송물동량 Simulation, Stocker내 기류 Simulation을 통해 제품에 대한 신뢰성을 쌓아가고 있습니다.

Rail system

OHT/OHS 천장 반송을 위한 이동경로 system

Rail system
Rail system
  • 사용 대상 : Rail 주행형 Vehicle (OHT/OHS)
  • 구성 : AL Rail, Contactless Power Cable
  • Type : Straight, Curve, Branch, Double Branch
  • 주요사용처 : 300mm 반도체 생산 Line(Class 100)
    천장 반송이 필요한 생산 Line