hóa chất thuốc lưu hành

반도체 물류
200mm Cassette, 300mm Foup thiết bị tự động hóa vật liệu Stocker, OHS/OHT, Rail system, AGV Đang giao hàng. Nói tóm lại, người ta đang áp dụng phần mềm tự phát triển để kiểm soát lượng động vật lưu động và điều khiển nó Simulation, Stocker luồng khí Simulation Thông qua việc này chúng tôi đang nâng cao độ tin cậy đối với sản phẩm.

OHS/OHT

Stocker kết hợp trang thiết bị công bằng với & khác nhau Stocker với Foup uốn người nào, cố định lái xe RAIL hình dạng

OHS/OHT
OHS/OHT
  • vật vận chuyển : 300mm Wafer Foup
  • Align độ chính xác : 1mm
  • Load trọng lượng : 10kg
  • Straight tốc độ : 3m/s (User Order)
  • Curve tốc độ : 1m/s (User Order)
  • Hoist tốc độ : 11sec
  • Power : Contactless Power Supply
  • nơi sử dụng chính : 300mm bán dẫn sự sản xuất Line (Class 100)