반도체물류

200mm Cassette, 300mm Foup 물류 자동화 장비인 Stocker, OHS/OHT, Rail system, AGV를 납품하고 있습니다. 전체 System 물동량 관리를 유동적으로 제어하는 Software를 자체 개발 적용하고 있으며, 반송물동량 Simulation, Stocker내 기류 Simulation을 통해 제품에 대한 신뢰성을 쌓아가고 있습니다.

Stocker

반도체 FAB 공정내 Foup의 재고관리, 물동량을 제어 하며, 반입/반출/저장을 목적으로 하는 System

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  반도체용 Foup Stocker